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研究人員發(fā)現(xiàn)低成本生產(chǎn)SiC的工藝

碳化硅(SiC),這種寬能隙的半導(dǎo)體組件可用于打造更優(yōu)質(zhì)的晶體管,取代當(dāng)今的硅功率晶體管,并與二極管共同搭配,提供最低溫度、最高頻率的功率組件。 SiC晶體管所產(chǎn)生的熱也比硅功率晶體管更低30%,然而,它的成本至今仍然比硅更高5倍。


為了降低SiC的制造成本,美國北卡羅萊納州立大學(xué)的研究人員設(shè)計了一種PRESiCE工藝,并搭配TI X-Fab實(shí)現(xiàn)低成本的SiC功率MOSFET,日前于美國華府舉行的2017年碳化硅及相關(guān)材料國際會議(International Conference on Silicon Carbide and Related Materials;ICSCRM 2017)發(fā)表技術(shù)細(xì)節(jié)。

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為了尋找低成本授權(quán)的工藝以降低這些障礙,Baliga及其研究團(tuán)隊設(shè)計了一種“制造SiC電子組件之工程工藝”(Process Engineered for Manufacturing SiC Electronic-devices;PRESiCE),并采用德州儀器(Texas Instruments ;TI)的X-Fab來實(shí)現(xiàn)。

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根據(jù)Baliga,PRESTICE并不只是一種開發(fā)SiC工藝的低成本替代方法,它也比傳統(tǒng)的專有工藝更有效率。降低授權(quán)成本將有助于讓更多的業(yè)者加入市場競爭,從而提高SiC的產(chǎn)量。反過來說,這也不可避免地會降低SiC的價格,或許還會降低到只比硅的價格多50%。


SiC功率組件除了可作業(yè)于較低的溫度下,也可以在更高的頻率下切換,從而讓功率電子產(chǎn)品得以使用較小的電容、電感和其他被動組件,最終使得設(shè)計人員能在更小的空間中封裝更多組件,而仍使其保持輕量纖薄。 Baliga說,PRESiCE工藝能實(shí)現(xiàn)較高產(chǎn)量,并嚴(yán)格控制產(chǎn)出SiC組件的特性。


編譯:Susan Hong




文章來自《EET電子工程專輯》


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標(biāo)簽:   碳化硅 半導(dǎo)體 晶體